導向精度、高導向精度指的是導軌運動軌跡的準確程度，它是導軌副的重要精度指標。運動件的實際運動軌跡與給定方向之間的偏差越小，那么導向精度就越高。影響導向精度的主要因素有:導軌承導面的幾何精度、導軌的結構類型、導軌副的接觸精度和表面粗糙度;導軌和支承件的剛度;導軌的油膜厚度和油膜剛度;導軌和支承件的熱變形等。
　導軌的幾何精度一般包括導軌在垂直平面、水平平面內的直線度和兩條導軌面間的平行度或兩導軌面間橫向某長度的扭曲值。精度要求可以用導軌全長上的誤差△或單位長度上的誤差S表示。
　移動靈敏度和定位精度均高移動靈敏度(移動分辨率)指工件臺完成一次移動能達到的較短距離，定位精度指工件臺由運動狀態停止在某一指定點的能力。移動靈敏度和定位精度與導軌的類型、摩擦特性、運動速度、傳動剛度、移動件質量等因素有關。
   ——THK導軌